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真空測(cè)漏箱對(duì)容器罐瓶的三大檢漏方法

更新時(shí)間:2022-11-24   點(diǎn)擊次數(shù):4668次

泄漏的檢測(cè)方法有浸水法、涂肥皂液法、放電法、漏嘴測(cè)量法及壓力測(cè)量法等。浸水法及涂肥皂液法只能做定性觀察而且有很大的局限性;漏嘴測(cè)量法,測(cè)量準(zhǔn)確度低、價(jià)格高、易損壞且對(duì)操作員要求高;放電法也僅適用于真空系統(tǒng)的玻璃容器;唯有壓力測(cè)量法適用面廣、測(cè)量準(zhǔn)確度高、性能穩(wěn)定且操作簡(jiǎn)便,在近年來得到越來越多地重視和運(yùn)用。

處于壓力測(cè)量狀態(tài)下的密封容器的泄漏意味著容器內(nèi)所含物質(zhì)量的減少。例如,當(dāng)容器壓力為100kPa時(shí),且容器內(nèi)所含物質(zhì)為空氣,并設(shè)容器容積為100mL,其含空氣的質(zhì)量約為120mg,這時(shí)容器若有微量泄漏,則引起所含空氣質(zhì)量的變化是十分微小的,采用直接測(cè)量質(zhì)量變化的方法來檢測(cè)泄漏,在理論上是可行的,但在技術(shù)上、工藝上往往是做不到的。而真空測(cè)漏箱采用壓力檢測(cè)方法,卻可以高精度、非常靈敏地檢測(cè)密封容器因泄漏引起的微小質(zhì)量變化。

第一、壓力檢漏法

壓力檢漏法是指將被檢漏的真空系統(tǒng)或真空容器充入具有一定壓力的示漏物質(zhì),如水、空氣等,一旦被檢空間存在漏隙,示漏物質(zhì)就會(huì)從漏隙中漏出。這樣通過一定的方法或儀器發(fā)現(xiàn)從漏隙中漏出的示漏物質(zhì),從而發(fā)現(xiàn)漏隙所在以及漏隙的泄漏量情況。

第二、真空檢漏法

真空檢漏法與壓力檢漏法相反,是將被檢的真空系統(tǒng)或真空容器與檢漏設(shè)備的敏感元件抽成真空狀態(tài),然后將示漏物質(zhì)依次施加在被檢系統(tǒng)或容器的外面可疑部位。如果被檢的真空系統(tǒng)或真空容器存在漏隙,示漏物質(zhì)會(huì)通過漏隙進(jìn)入到真空系統(tǒng)或真空容器中,并被檢漏設(shè)備的敏感元件檢測(cè)到、判斷出漏隙位置與大小等情況。

第三、背壓檢漏法

背壓檢漏法是壓力檢漏與真空檢漏相結(jié)合的一種方法,多用于封離后的電子器件、半導(dǎo)體器件等密封件的無損檢漏。一般包括充壓、凈化、檢漏三個(gè)步驟:先是被檢設(shè)備置于高壓示漏氣體環(huán)境中,隨著浸泡時(shí)間的增長(zhǎng)及充壓的增大,示漏氣體進(jìn)入被檢設(shè)備;然后利用干燥氮?dú)饣蜢o置等方法凈化吸附在被檢設(shè)備外表面的示漏氣體(凈化時(shí)間的長(zhǎng)短會(huì)影響到進(jìn)入被檢設(shè)備內(nèi)的示漏氣體的分壓);最后將被檢設(shè)備放入裝有檢測(cè)儀的真空環(huán)境中,利用壓差,檢測(cè)漏隙的存在與大小。

這三種檢漏方法都是大的類型方式,每一種檢漏方式又可分為若干小類的檢漏方法,對(duì)應(yīng)不同的設(shè)備與檢漏率。

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